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等离子体灰化技术在英国的应用

信息来源:10bet官网中文 | 发布日期: 2018-09-19 | 浏览量:
关键词:等离子体灰化技术应用
  等离子体灰化,等离子体剥离或微焚烧的过程通常局限于氧等离子体对有机物的完全去除;产品是碳10bet国际官方网站物和水蒸气,它们是挥发性的并被真空系统抽走。历史上,第一个应用是用于去除微电子工业中的光刻胶。光致抗蚀剂由有机化合物组成,主要由碳,氢和氧组成。暴露于氧等离子体^终除去所有光致抗蚀剂,因为挥发物不留残余物,除非光致抗蚀剂中存在无机污染物。因此,展示过程是完全干燥的,并且也是将无机污染物浓缩在有机材料中的手段。
  
  这是射频等离子系统的主要应用。确切的协议因国家/地区而异,但在英国,以下是推荐方法的摘要。该技术要求在MF系列过滤器(混合醋酸纤维素和硝酸盐)上从已知体积收集过滤空气(或水)样品。然后将过滤器转移到显微镜载玻片上,用澄清溶液处理,干燥,然后转移到血浆单元中。
  
  然后通过在氧等离子体中处理通常7分钟,通过过滤器的部分灰化来暴露石棉纤维。这样可以去除过滤器的表面层,使石棉纤维暴露,但仍然附着在塌陷的过滤器基质上。可以通过光学显微镜,光学对比显微镜,SEM和EDX对纤维进行计数和鉴定。一些SEM和EDX协议需要完全灰化滤波器。
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