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等离子体的关键清洁方法

信息来源:10bet官网中文 | 发布日期: 2018-08-31 | 浏览量:
关键词:等离子体清洁方法
  在等离子体中,气体原子被激发到更高的能量状态并且也被电离,当原子和分子“放松”到它们正常的低能态时,它们释放出光子,这导致了与等离子体相关的特征“发光”或光。不同的气体给出不同的颜色例如,氧等离子体发出浅蓝色。
  
  等离子体的活化物种包括原子,分子,离子,电子,自由基,亚稳态和光子在短波紫外线(真空紫外线或简称VUV)范围内,这种偶然在室温附近,然后与放置在等离子体中的任何表面相互作用。
  
  如果使用的气体是氧气,则等离子体是一种有效,经济,环保的关键清洁方法。VUV能量在破坏表面污染物的大多数有机键(即C-H,C-C,C=C,C-O和C-N)方面非常有效。这有助于分解高分子量污染物。通过等离子体中产生的氧物质(O2+,O2-,O3,O,O+,O-,电离臭氧,亚稳态激发氧和自由电子)进行第二次清洁作用。这些物质与有机物反应污染物形成H2O,CO,CO2和低分子量烃。这些化合物具有相对高的蒸气压,并且在加工过程中从腔室中排出。得到的表面是超洁净的,显示了在用激发氧清洁之前和之后碳相对材料深度的相对含量。
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